圧電体には、荷重印加時に電荷を発生する正圧電効果と、電圧印加時にひずみが発生する逆圧電効果があります。
　これらは圧電体の基本的な性質を知るための重要な特性です。
　リードテクノは、正圧電効果、逆圧電効果、どちらも簡単に高精度に計測する測定装置をご提供いたします。

 

＜正圧電効果測定＞　ピエゾリーダー

　正圧電効果（ｄ３３）の測定には、振動荷重をかけて発生する電荷を測定する「ｄ３３メーター」と呼ばれる測定器が一般的です。

　当社開発の「ピエゾリーダー」は、高精度センサーによる微小荷重制御と微小発生電荷測定ができ、簡単に高精度なｄ３３測定が可能です。
　荷重の制御により、荷重v.s.電荷の関係がダイレクトに測定でき、材料ごとに最適荷重条件の設定ができます。
　専用アタッチメント使用で圧電横効果のｄ３１測定も可能です。

　これら特徴を活かし、セラミックスはもちろん、柔らかくて変形しやすい高分子やゴム材料、発生電荷が微小な薄膜なども計測が可能で、圧電薄膜ウエハの非破壊検査装置に「ピエゾリーダー」が利用されております。

　　　　　　　　　　　ピエゾリーダー

　　　　　　　　　　

〇測定例

 

 

 

　 　　　　

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

＜逆圧電効果測定＞　ＰＥＳＥテスター

　
　電圧を印加して圧電体自体の歪みを測定することで、電界－歪曲線（Ｓ－Ｅカーブ）を得ることができ、逆圧電効果の算出が可能です。
　同時にチャージアンプを使用して電荷の出入りを測定することで、分極ヒステリシス（Ｐ－Ｅカーブ）を得ることができ、抗電界（Ｅｃ）、飽和分極（Ｐｍａｘ）、残留分極（Ｐｒ）を算出することが可能です。

　歪測定は、接触式の変位センサー、非接触のレーザ変位計、レーザードップラ―変位計などの仕様が可能です。
変位計、電源の組み合わせで、高周波領域での測定にも対応可能で可能になり、従来のバルクセラミックスのみならず、バイモルフ形状のアクチュエータや、歪量が微小な薄膜サンプルの測定も可能です。

　　　　　　　　

　　　　　　　　　　　ＰＥＳＥテスター

 

　　　　　　　　　　　　　テスターブロック図