新型ウェハー検査装置%e6%96%b0%e5%9e%8b%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%8f%e3%83%bc%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e8%a3%85%e7%bd%ae

2025年02月14日

新型ウェハー検査装置

・非破壊検査を実現

・上部電極不要、下部電極コンタクトなしでも測定可能

・パルス分極による各電界強度のd33測定可能

・測定ポイント制御可能

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