2025年04月17日 新型ウェハー検査装置 ・非破壊検査を実現 ・上部電極不要、下部電極コンタクトなしでも測定可能 ・パルス分極による各電界強度のd33測定可能 ・測定ポイント制御可能 前後の記事へのリンク << - セラミックス積層アクチュエータカンチレバーの変位量(d31)温特評価システム - >>