リードテクノの圧電特性評価装置New Product

2019年11月14日

リードテクノの圧電特性評価装置

 

 圧電体には、荷重印加時に電荷を発生する正圧電効果と、電圧印加時にひずみが発生する逆圧電効果があります。
 これらは圧電体の基本的な性質を知るための重要な特性です。
 リードテクノは、正圧電効果、逆圧電効果、どちらも簡単に高精度に計測する測定装置をご提供いたします。

 

<正圧電効果測定> ピエゾリーダー

 正圧電効果(d33)の測定には、振動荷重をかけて発生する電荷を測定する「d33メーター」と呼ばれる測定器が一般的です。

 当社開発の「ピエゾリーダー」は、高精度センサーによる微小荷重制御と微小発生電荷測定ができ、簡単に高精度なd33測定が可能です。
 荷重の制御により、荷重v.s.電荷の関係がダイレクトに測定でき、材料ごとに最適荷重条件の設定ができます。
 専用アタッチメント使用で圧電横効果のd31測定も可能です。

 これら特徴を活かし、セラミックスはもちろん、柔らかくて変形しやすい高分子ゴム材料、発生電荷が微小な薄膜なども計測が可能で、圧電薄膜ウエハの非破壊検査装置に「ピエゾリーダー」が利用されております。

           ピエゾリーダー

 

 

仕様

 ・測定レンジ:1~10,000pC/N

   (最少レンジ: 分解能:0.01pC/N)

 ・荷重計測:Max.8N (分解能: 0.01N)

 ・周波数:0.1~200Hz

 ・温度範囲:室温~400℃

   (別途温調装置使用の場合)

          

〇測定例

 

静荷重測定

 

 

交流駆動測定(JIS1696準拠)

      

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


<逆圧電効果測定> PESEテスター

 
 電圧を印加して圧電体自体の歪みを測定することで、電界-歪曲線(S-Eカーブ)を得ることができ、逆圧電効果の算出が可能です。
 同時にチャージアンプを使用して電荷の出入りを測定することで、分極ヒステリシス(P-Eカーブ)を得ることができ、抗電界(Ec)、飽和分極(Pmax)、残留分極(Pr)を算出することが可能です。

 歪測定は、接触式の変位センサー、非接触のレーザ変位計、レーザードップラ―変位計などの仕様が可能です。
変位計、電源の組み合わせで、高周波領域での測定にも対応可能で可能になり、従来のバルクセラミックスのみならず、バイモルフ形状のアクチュエータや、歪量が微小な薄膜サンプルの測定も可能です。

        

           PESEテスター

仕様
 ・周波数:1mHz~10kHz

 ・印加電圧:±10kV

 ・変位分解能:±0.01um

 ・波形:任意波形可能

 

 

 標準仕様となります

 ご要望に応じてカスタマイズ

 が可能です

 

             テスターブロック図

 


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