1.機能
・圧電薄膜カンチレバーに正弦波電圧を簡易プローバーを介して印加
・カンチレバー先端の変位量をレーザードップラー変位計により計測
・変位量から圧電定数(d31)を算出し表示およびファイルに保存
2.性能
・印加電圧:~±100V(Bipolar)、0V~100V(unipolar)
・印加電圧周波数:~30kHz
・変位量測定範囲:±1mm(200μm/Vレンジ)、±10μm(2μm/Vレンジ)、±1μm(200nm/Vレンジ)
3.外観
4.測定画面
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