2021年04月20日
当社の圧電ウエハ評価システム
特長：圧電ウエハの圧電特性の評価が可能(上部電極なし, 任意位置において)
機能：①電圧印加（Max.150V)⇒分極処理, P-Eヒステリシス（Pr, Ec）
②荷重印加（Max.10N)⇒発生電荷量⇒d33*
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