リードテクノ株式会社Lead Techno Co., Ltd.

圧電デバイスは、搭載されるセット機器の小型化、高感度化により、従来のセラミックスから、樹脂フィルム及び 薄膜基板を利用した応用デバイスへ展開しつつあります。

当社では、従来のセラミックス材料で培った評価技術をベースに、これら多様化する材料及びデバイスに対して、お客様ニーズに合った各種圧電評価方法の提案及び各種計測機器の開発を進めております。

新型d33メータPiezo Reader

概要

• 圧電定数(d33、d31)の計測がダイレクトに測定可能
• 従来の測定装置よりも高分解能で、バルクセラミックスから、薄膜基板や弾性変形しやすい圧電フィルム等も測定が可能

性能・機能

• 測定方法：圧電体にダイレクトに荷重を印加して、発生した電荷量を計測
  • 測定範囲：0~10,000pc/N (測定レンジ:7 レンジ切替え)
  • 分解能：0.01pC/N(最少レンジ:0~10pc のとき)
  • 最大印加荷重：Max. 8N (分解能:0.01N)
  • 専用ソフト(Piezopro)により、条件設定～計測結果表示～データ保存までパソコン上で操作

測定例

• PZT薄膜基板の測定

  • PZT薄膜Si基板：20 × 16mm （PZT厚み：1μm）
  • Si基板をアタッチメントにて挟み計測

• AIN薄膜基板の測定

  • 材料：AIN（厚み1μm）
  • サイズ：6インチSi基板（上部電極なし）
  • 専用アタッチメント（別売）で測定

• 圧電フィルムのd31測定

  • 材料：PVDF
  • サイズ：30 × 8 × 0.04mm（上下面電極有）
  • d31測定用アタッチメント（別売）で測定

• 温度特性評価

  • R.T.〜Max.400℃
  • 専用ヒータユニット（別売）で測定

変位計・PEヒステリシス計Strain ・Polarization Tester

概要

• 圧電体の電圧ー変位特性、電圧ー分極特性が同時に計測
• 専用ソフトにより、設定〜計測〜グラフ作成まで一括処理
• 加熱チャンバー（別売り）を設置すると温度特性が計測

性能・機能

• 測定周波数：1mHz〜1Hz
• 変位計分解能:0.01μm
• 静電容量：10nF〜10μm
• 試料加熱：Max.150℃

温度特性評価システムTemperature Characteristic Measuring System

キュリー点測定システム(型番：LTC-02)

• 試料サイズ：Max.Φ15 x 10mm
• 測定温度:R.T.~800°C (小型電気炉、セット治具、専用ソフト 等)

d33温度特性システム(型番：LTT-01)

• 測定温度:-40~400°C →熱風/冷風フローにより、短時間に冷却・昇温 (温度/流量コントローラ、セット治具 等)